华海清科：CMP设备已实现28nm制程所有工艺全覆盖，目前已厂家供货

华海清总目最近接受投资者调研时称，子公司CMP装置已付诸28nmPCB所有生产工艺全覆盖，目前已大批量供货；14nmPCB的几个关键生产工艺CMP装置早就在客户端同步开展可验证管理工作。

子公司的晶圆再生金融业务进展顺利，已通过多家客户的可验证，曾一度付诸双线运行，产能达到50K/月。此金融业务获得多家大厂的大批量订单，子公司也即将按照计划展开扩产。